Cuno BetaPure CMP

3M Betapure CMP Filtre Serisi

Önceleri CUNO Optima CMP olarak bilinen 3M™ Betapure™ CMP filtre kartuşları ve kapsülleri Kimyasal Mekanik Planarizasyon (CMP) uygulamalarında kullanılan oksit ve metal harç maddeleri için optimize edilmiş yüksek kapasiteli derin filtrelerdir.
Betapure CMP filtreleri sadece polipropilen bileşenlerden oluşan ve optimum düzeyde partikül sınıflandırması için çok bölgeli "kademeli gözenekli yapı" özelliklerine sahiptir.
Bu yapı üstün akış özellikleri ve harç maddenin kaymasını en aza indirmek için düşük basınç düşüşü sağlarken bir diğer yandan üstün uzun ömürlü hizmet sağlar. CMP harç maddelerinin filtrasyonu elektronik üretiminde kullanılan yüksek saflıkta kimyasalların filtrasyonu ile karşılaştırıldığında zor bir işlemdir. Yüksek saflıkta kimyasal filtrasyonu tipik olarak 0.2 mikron ya da değerlendirilmiş gözenek boyutunda keskin partikül reddine sahip daha sıkı membran filtreleri kullanılarak gerçekleştirilir. CMP harç maddelerinin çoğunluğu 0.03 ila 0.2 mikron arasında değişmekte olan arzu edilen ortalama parçacık boyutu içerir. Sonuç olarak, özellikle yüksek saflıkta kimyasalların parçacık arıtımı için tasarlanmış olan filtre arzu edilen parçacıkları çıkarabilir ve CMP harç maddesinin parlatma özelliklerini olumsuz etkileyebilir.

Faydaları ve Özellikleri

• Azaltılmış kusur ve geliştirilmiş verim için sert ve yumuşak jel kirleticilerin üstün çıkarımı
• Yüksek kirletici tutma kapasitesi kesinti süresini azaltır ve genel ekipman etkinliğini arttırır
• Filtreler kusura neden olacak parçacıkların azaltımı için gerekli optimum düzey performans sağlayan harç maddesine göre eşleşir
• Harç maddesinin potansiyel sıvı kayması azaltımı için düşük basınç düşüşü sağlar
• Düşük ekstraktlanabilir kapsül, yapıştırıcılardan arınmış, bağlayıcı ve yüzey aktif madde
• Düşük ve yüksek PH’lar ile mükemmel kimyasal uyumluluk
• ISO sertifikalı kaliteli yönetim sistemi
• Akıntı yönünde paketin dışında üstün temizlık sunmak için temiz bir ortamda üretilir ve çift paketlenir
• Planarizasyon işleminin etkinleştirerek tekrarlanabilirliğini sağlayan tutarlı bir kalite sunar
• Hızlı kurulum
• Düşük kesintiler
• Tehlikeli kimyasalların azaltılmış kullanımı

İşletme Koşulları

• Maksimum işletme sıcaklığı 120 °C (250 °F)
• Maksimum basınç farkı 4.8 bar (70 psi)

Tipik Uygulamalar

• Yarı iletken
• Veri saklama
• Veri iletimi
• Yarı iletken bileşikleri